金融界9月13日音书,有投资者正在互动平台向珂玛科技提问:贵公司不竭打破中高端产物时间瓶颈,饱动国产代替过程。请问能否先容一下贵公司正在治理陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等家产链“卡脖子”产物研发和量产以及订单情状?祝福公司正在国产代替的道道上高奏凯歌、一同长虹!
公司答复表现:公司陶瓷加热器已有多款型号装置于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火开发等,装置于刻蚀机的8寸型号静电卡盘也仍旧量产。公司将进一步完竣陶瓷加热器、8寸静电卡盘产物,并要点研发打破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件,加快饱动墟市化利用。